Советский нанолитограф снова в деле — ФИАН вдохнул жизнь в одну из ключевых разработок времён СЭВ. Учёные переработали установку ZBA, снятую с производства после распада СССР, и превратили её в полноценный рабочий инструмент для выпуска высокоточных компонентов рентгеновской и дифракционной оптики. Без неё в своё время не обходилось ни одно серьёзное производство электроники в Восточной Европе, а теперь, спустя десятилетия, она снова работает — уже в актуальных проектах.
Теперь на базе этого оборудования в Троицком подразделении ФИАН изготавливаются дифракционные решётки, наноструктуры и оптические элементы для спектрометров, AR-систем, микроскопии и интегральной оптики. Печать идёт по технологии электронно-лучевой литографии, а размеры пластин — до 150×150 мм. По словам разработчиков, это не музейная реставрация, а реальный производственный инструмент, вписанный в современные научные задачи.
Как отмечают в ФИАН, несмотря на гонку за техпроцессами в 3 нм и меньше, на практике множество технологий до сих пор держатся на «устаревших» по формальным критериям решениях. Особенно в науке и промышленной оптике, где нередко требуется не массовое производство, а высокая точность.
Советский нанолитограф снова в деле — ФИАН вдохнул жизнь в одну из ключевых разработок времён СЭВ
