Несмотря на то, что электронный нанолитограф ZBA - это "старичок", разработанный в 1980-1990 годы, в Троицком подразделении ФИАН посчитали, что вернуть установку к жизни будет небесполезным. На постсоветском пространстве работало несколько сотен таких установок. Тем более, что в ходе реинжиниринга, часть узлов была переработана с учетом современных возможностей. Об этом сообщает ТАСС.
На воссозданной установке можно производить элементы спектрометров и компоненты, необходимые, например, для изготовления дифракционных оптических элементов и фазовых решеток для систем компьютерного зрения и микроскопии.
На ней были созданы дифракционные решетки скользящего падения с переменным периодом, - такие применяют в рентгеновской оптике.
Установка может работать с пластинами 150х150 мм.
В установке пучок электронов используется для структурирования поверхности специального полимерного материала (резиста). Полученные дифракционные структуры можно использовать в голографии, системах дополненной реальности, при создании масок для фотолитографии.
Насколько я понял из источника, на серийное производство установки в Троицке пока не замахивались, восстановили ее для собственных нужд.
