Учёные Физического института имени П.Н. Лебедева разработали новую установку для производства российских компонентов рентгеновской и дифракционной оптики на базе советского нанолитографа, производство которого прекратилось после распада СССР. Об этом заявил ТАСС вице-президент Международной комиссии по оптике, член-корреспондент РАН Андрей Наумов.
Установка создана в ходе проекта, реализуемого в совместном государственно-частном научно-исследовательском центре Троицкой части ФИАН. Итоги исследования представлены в статье журнала Photonics Russia. За основу была взята советская установка ZBA, разработанная странами Совета экономической взаимопомощи (СЭВ) в 1980–1990-х годах. После прекращения её выпуска специалисты провели модернизацию устройства с учётом современных технологий.
"Создаваемая нами техника применяется для изготовления важных деталей, включая элементы спектрометров и компоненты для системы машинного зрения и микроскопии. Совсем недавно успешно изготовили специальные дифракционные решётки скользящего падения с переменным периодом, необходимые для дальнейшего прогресса в области рентгеновской оптики", - пояснил учёный.
Электронно-лучевая технология, используемая на установке, позволяет создавать сверхточные структуры с разрешением до 200 нанометров и ниже, востребованные как в науке, так и в промышленности.
"Мы гордимся тем, что благодаря нашим усилиям российский научный сектор получил инструмент для решения текущих исследовательских задач", - добавил Наумов.
