Новости науки
03.07.26
Бесконтактная терагерцовая диагностика динамики носителей заряда в кремнии, имплантированном примесью серы, с лазерным отжигом и без
Усовершенствован бесконтактный метод оптической накачки и терагерцового зондирования, позволяющий измерять скорости рассеяния свободных носителей заряда и их рекомбинации Шокли-Рида-Холла в имплантированных примесью серы слоях кремния – как в исходном неупорядоченном, так и рекристаллизованном после лазерного отжига состояниях. Сегрегация примеси при высоких концентрациях была подтверждена результатами молекулярно-динамического моделирования.


